SMIC, Hua Hong i ChangXin pierwszymi odbiorcami chińskich maszyn litograficznych DUV produkowanych seryjnie.

Seryjna produkcja litografii DUV w Chinach

Jak informuje ITC.ua — Техно: Państwowa spółka z Szanghaju rozpoczęła seryjne wytwarzanie maszyn litograficznych DUV wykorzystujących immersję. Pierwsze egzemplarze trafią do krajowych gigantów: SMIC, Hua Hong Semiconductor oraz ChangXin Memory Technologies. Firmy te objęte są zakazem współpracy z holenderskim ASML – liderem w dziedzinie litografii immersyjnej. Zakaz wynika z amerykańskiej rezolucji Izby Reprezentantów nr 8170 i uchwalonego 22 kwietnia 2023 roku MATCH Act, który blokuje m.in. SMIC, Hua Hong, CXMT, Huawei i YMTC przed korzystaniem z technologii ASML. Jest to bezpośrednia odpowiedź na zachodnie ograniczenia eksportowe.

W 2023 roku zaplanowano wyprodukowanie 5 takich urządzeń, a w 2024 – około 20. Tymczasem ASML, kontrolujący 98,7% globalnego rynku litografii immersyjnej, zamierza dostarczyć w 2023 roku około 130 systemów. Chiny generują około 20% rocznego zysku netto tej holenderskiej firmy. Technologia Immersion DUV umożliwia drukowanie elementów o wielkości 28 nm w pojedynczej ekspozycji. Komercyjne wdrożenie chińskiej immersyjnej litografii UV przewidywane jest na połowę lat 30. XXI wieku.

Nowa dynamika na rynku półprzewodników

Uruchomienie seryjnej produkcji chińskich maszyn DUV może znacząco wpłynąć na globalny rynek półprzewodników. Technologie wcześniej dostępne wyłącznie za pośrednictwem ASML stają się teraz osiągalne dla chińskich wytwórców, co zwiększa ich możliwości produkcji układów scalonych mimo międzynarodowych sankcji. Długoterminowym wyzwaniem pozostaje jednak uzależnienie od zagranicznych rozwiązań i komponentów, które Chiny muszą pokonać, dążąc do samowystarczalności w branży półprzewodnikowej.